部品/政府出品(西ホール)
デンソー：MEMS
MEMS(Micro Electro Mechanical System)とは、半導体ウェハ上に、半導体加工プロセスにより微細構造を形成したものです。
デンソーは従来不可能だったレベルまで細く、深く掘るためのMEMS技術を開発、加速度センサの量産や将来製品の開発に適用しています。
開発中のマイクロプリズムも含め展示します。
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